JSM-IT500掃描電子顯微鏡

非凡性能

■ 利用 Zeromag 進(jìn)行快速導航

■ Live Analysis在圖像觀(guān)察過(guò)程中進(jìn)行實(shí)時(shí)分析

■ SMILE VIEW LAB 能綜合管理 SEM 圖像 & EDS 分析數據

■ 安全、簡(jiǎn)便 的樣品交換導航

日常分析更迅速！更簡(jiǎn)便 !

從安裝樣品到生成報告，實(shí)時(shí)分析軟件使分析過(guò)程無(wú)縫連貫，作業(yè)速度更快，操作更加簡(jiǎn)便。

■ Zeromag

從樣品架示意圖或者CCD圖像上尋找視野和分析位置。

可以快速地尋找視野 , 簡(jiǎn)便地預約多個(gè)視野連續分析的位置。

■ Live Analysis （ 實(shí)時(shí)分析）

觀(guān)察過(guò)程中的 EDS 分析

在觀(guān)察過(guò)程中可以隨時(shí)實(shí)時(shí)顯示分析區域內的特征 X 射線(xiàn)譜圖、自動(dòng)定性分析結果和主要構成元素。

還可以標記“Alert"到感興趣的元素上。

■ 數據集中管理軟件 SMILE VIEWTM Lab

通過(guò)數據管理圖標或獲取的數據一覽，顯示數據管理畫(huà)面后，可以重新查看或再次分析數據，還可以一鍵生成報告。

利用用戶(hù)日志也可以分別管理數據。由于數據相互聯(lián)動(dòng)，進(jìn)行重構也很簡(jiǎn)單。

實(shí)現了光學(xué)圖像和 SEM 圖像的整合

■ Zeromag

新功能尋找視野非常容易

順利到達高倍率觀(guān)察

新功能 Zeromag 將與樣品臺位置相關(guān)聯(lián)的樣品臺示意圖、CCD 圖像和 SEM 圖像實(shí)現了聯(lián)動(dòng)，可以從光學(xué) CCD 圖像無(wú)縫過(guò)渡到 SEM 圖像，大幅度地提高了工作效率。

Zeromag 的特點(diǎn)

? 從光學(xué)圖像無(wú)縫過(guò)渡到 SEM 圖像

? 可以在樣品上預先選擇多個(gè)分析點(diǎn)

? 可以輕松回溯到已測試過(guò)的區域以作進(jìn)一步的研究

蒙太奇

利用 Zeromag 可以自動(dòng)簡(jiǎn)便地進(jìn)行大區域觀(guān)察及分析

蒙太奇是識別大區域上的異物和進(jìn)行斷裂面分析等在大區域上獲取詳細信息的有效功能。

使用 Zeromag 功能 , 能很容易地選擇大面積的蒙太奇視野，同時(shí)還有內置的“傾斜校正"、

“設定重疊視野"及“設定自動(dòng)聚焦點(diǎn)"功能。

SM-IT500 是一款革命性的掃描電鏡，它只需很少的步驟就能獲取高倍率圖像。

● 二次電子圖像

利用高真空二次電子像觀(guān)察鐵銹的表面，在高倍率下可以觀(guān)察到細微的表面形貌。

● 背散射電子圖像

下圖是硬質(zhì)合金截面的背散射電子成分像，在低電壓的背散射電子模式下可以觀(guān)察每個(gè)碳化鎢顆粒的晶體取向（通道襯度）差異。

● 選擇掃描系統可獲取畫(huà)質(zhì)更好的低加速電壓圖像

可以選擇快速幀累積的掃描系統來(lái)減少樣品的放電現像。因此 ,即使在低加速電壓下觀(guān)察容易荷電或易受電子束損傷的樣品，也能容易地獲取高倍率圖像。

低真空模式

在物鏡附近進(jìn)行差動(dòng)抽氣顯著(zhù)提高了低真空模式下的圖像質(zhì)量。此外，低真空模式的最大壓力可高達 650 Pa, 進(jìn)一步擴大了應用范圍。

超低真空圖像

含有大量水分的軟樣品會(huì )因為樣品室內的壓力而無(wú)法保持原有的結構。從前對這樣的樣品不進(jìn)行特殊處理就無(wú)法觀(guān)察。當低真空壓力范圍擴展到 650 Pa 時(shí)，即使沒(méi)有特殊處理也可以在對樣品損傷很小的情況下進(jìn)行觀(guān)察。

低真空二次電子圖像

盡管在低真空模式下，通過(guò)低真空二次電子像也可以清晰地觀(guān)察到樣品表面的細節。

測量功能

備有多種測量功能。

測量

利用該功能可以在觀(guān)察界面上測量距離、角度、面積等，結果能記錄和保存在 SEM 圖像上。

3D 成像

備有兩種 3D 成像的軟件。

● 立體圖像

按照指示拍攝兩張 SEM 照片，就可以制作立體圖像。即使沒(méi)有專(zhuān)門(mén)的軟件，只要用紅藍眼鏡就可以確認到樣品的表面形貌。

● 3D 圖像測量

特定的 3D 測量軟件?？捎脙蓮?span> SEM 照片制作 3D 圖像。 還可以用 3D 圖像測量樣品表面形貌。

無(wú)縫式操作 SEM 和 EDS

■ Live Analysis ( 實(shí)時(shí)分析 )

觀(guān)察過(guò)程中實(shí)時(shí)顯示元素分析結果

利用 Live Analysis 功能可以隨時(shí)在觀(guān)察界面上顯示分析區域內的特征 X 射線(xiàn)譜圖以及自動(dòng)定性的主要構成元素。通過(guò)此功能可以發(fā)現感興趣的元素和一些意想不到的元素。

Live Analysis（實(shí)時(shí)分析）的特點(diǎn)

? 隨時(shí)顯示特征 X 射線(xiàn)譜圖

?通過(guò)顯示樣品的主要元素

?對感興趣的元素顯示“Alert"

SEM 觀(guān)察界面

在 SEM 觀(guān)察界面上可以確認到正在觀(guān)察的譜圖和主要元素。

各個(gè)分析區域都與對應的樣品臺坐標關(guān)聯(lián)，并且顯示在樣品架示意圖上或者 CCD 圖像 上。

● EDS

X 射線(xiàn)能譜儀 (EDS) 是安裝在掃描電鏡 (SEM) 的附件，通過(guò)檢測電子束照射時(shí)樣品產(chǎn)生的特征 X 射線(xiàn)，從而進(jìn)行元素分析。

詳細分析顯示界面

切換到詳細分析顯示界面后可以進(jìn)行譜圖解析以及元素面分布分析等。

即使在分析期間，也可以從已經(jīng)獲取的數據中生成報告。

● 重返分析區域

分析區域內的樣品臺位置和放大倍率與分析數據關(guān)聯(lián)。

在 SEM 觀(guān)察界面上可以重新回溯到任一分析區域做進(jìn)一步測試。

● 導航

可以預先選取多個(gè)區域進(jìn)行自動(dòng)的連續分析。導航可以通過(guò)電子束追蹤探測到由于視野移動(dòng)而造成的微小的圖像漂移，從而準確地重新定位分析區域。

定性 & 定量分析

在 SEM 觀(guān)察界面上直接點(diǎn)擊想要分析的位置就能定位分析區域。

使用 Zeromag 功能在多個(gè)視野區域定位多個(gè)分析區域，能簡(jiǎn)便地進(jìn)行連續分析。

識別構成元素

● 定性分析

在觀(guān)察過(guò)程中進(jìn)行自動(dòng)定性分析。雙擊小峰識別相對應的元素。

能譜采集的過(guò)程中也可以進(jìn)行元素的標定。

● 定位區域類(lèi)型

分析區域的定位方法除了有“點(diǎn)"、“區域"外，還有能根據圖像強度差異來(lái)定位的“顆粒"等方法。

元素面分布圖（Elemental map)

元素面分布圖可以從整個(gè)觀(guān)察界面或觀(guān)察界面內定位的區域上獲取。由于每個(gè)像素點(diǎn)上都保存了能譜信息，因此不需要在測定前定位元素就可以采集元素面分布圖，在獲取數據后也可以添加或者修改元素。此外，在數據采集期間還可以實(shí)時(shí)顯示 net map。

顯示選定區域的元素分布

● 強度面分布圖 (Intensity map)

顯示定位能區的 X 射線(xiàn)強度分布。從全區域面分布圖可以獲取整個(gè)區域的 X 射線(xiàn)強度分布，從區域面分布圖可以獲取定位區域的 SEM 圖像和元素面分布圖。

提高元素面分布圖的準確性

● 實(shí)時(shí)凈計數面分布圖

凈計數面分布圖可以分開(kāi)每個(gè)像素點(diǎn)的譜峰，并且顯示的元素面分布圖消除了相近峰之間的影響。相比之下，計數面分布圖不可避免地反映了靠近定位元素的其他元素峰的強度。即使樣品含有不同元素，凈計數面分布圖也可以實(shí)時(shí)顯示固有強度的元素面分布圖。

● 強度面分布圖 (Intensity map) 與定量面分布圖

　(Quantitative map) 的比較Cd-Lβ(3.313 keV) 的譜峰、Cd-Lβ2(3.528 keV) 的譜峰和 Sn-Lα 的譜峰都彼此非常接近，因此在強度面分布圖中很難將 Cd 從 Sn 的峰中分開(kāi)。通過(guò)定量面分布圖可以確認 Sn 元素原有的分布。

● 定量面分布圖（Quantitative map)

定量面分布圖對凈計數面分布圖添加了修正計算，用定量值來(lái)顯示面分布圖。除了凈計數面分布圖之外，定量值用圖像對比度來(lái)顯示固有強度的元素面分布圖。

利用元素面分布圖進(jìn)行實(shí)時(shí)分析

● 彈出譜（Pop-up spectrum）

在元素面分布圖或 SEM 像中特指任意區域后，即使在采集元素面分布圖的過(guò)程中也可以定性或定量分析能譜信息。如果某個(gè)區域沒(méi)有在特指的元素面分布圖中出現，則會(huì )顯示出此區域的能譜，因而就可以確認是否有遺漏的元素。

明確元素的位置

● 疊加顯示多色元素面分布圖

對任意的元素面分布圖特指顏色后，可以實(shí)時(shí)和 SEM 像疊加顯示。如果多個(gè)元素重疊在同個(gè)區域，則會(huì )顯示出復合色。

能快速確認元素的分布

● 實(shí)時(shí)過(guò)濾

在面分布采集過(guò)程中進(jìn)行圖像處理可以提高圖像的信噪比。因此，只要使用實(shí)時(shí)過(guò)濾，即使在短時(shí)間內也可以確認到很清晰的元素分布。

直接生成報告

■ 數據統一管理軟件 SMILE VIEW TM Lab

SMILE VIEW TM Lab 是一個(gè)*集成的數據管理軟件，對與樣品臺坐標關(guān)聯(lián)的 CCD 圖像、SEM 圖像、EDS 分析結果等數據能進(jìn)行統一管理，可以快速生成報告。

SMILE VIEW TM Lab 數據管理界面

在 SMILE VIEW TM Lab 數據管理界面上能對所有數據進(jìn)行集中管理。該管理器里保存的數據關(guān)聯(lián)了觀(guān)察位置、觀(guān)察 & 分析結果和通過(guò)樣品臺示意圖或 CCD 圖像獲取的低放大倍率圖像。因而可以輕松回顧或重新分析已經(jīng)采集的數據，還可以將結果反映到報告里。

SMILE VIEW TM Lab 的特點(diǎn)

?統一管理 CCD  圖像數據、SEM 圖像數據、EDS 分析結果。

?可以瞬間掌握每個(gè)視野的數據。

?支持各種數據搜索。

自動(dòng)布局功能

SEM 圖像與譜圖或面分布等信息相互聯(lián)動(dòng)，所以只要選擇一個(gè)數據相關(guān)所有數據都會(huì )在報告書(shū)里自動(dòng)布局。如果數據太大，會(huì )自動(dòng)排版添加頁(yè)面。此外，需要更改布局時(shí)，一鍵即可切換所有相關(guān)信息。

交換樣品的操作簡(jiǎn)便 & 大型分析樣品室

■ 安全、簡(jiǎn)便的樣品交換導航 !

引導從進(jìn)樣到觀(guān)察的操作

樣品交換根據導航流程進(jìn)行。從打開(kāi)樣品室到開(kāi)始觀(guān)察樣品為止，引導用戶(hù)正確操作，保證可以進(jìn)行得既安全又簡(jiǎn)便。

● 交換樣品很安全　

按照導航流程對樣品室泄真空時(shí)，樣品臺會(huì )自動(dòng)回到樣品交換位置，可以簡(jiǎn)單、快速地交換樣品。安裝樣品之前可以使用測試治具確認高度。

● 內置菜譜功能，可以自動(dòng)設置觀(guān)察條件。

在輸入樣品高度后的抽真空過(guò)程中，按照導航流程可以獲取 CCD 圖像, 觀(guān)察視野和使用菜譜功能設置觀(guān)察條件。

■ 樣品導航

可以方便地移動(dòng)到目標位置

● 樣品架示意圖

通過(guò)樣品架示意圖可以一目了然地確認樣品位置。同時(shí)，隨著(zhù)樣品的傾斜或旋轉隨時(shí)顯示當前的位置，可以直觀(guān)地確認樣品的位置。

● 樣品臺導航系統（SNS）

獲取樣品的彩色圖片后，雙擊就可以定位觀(guān)察位置。顯示在 Zeromag 屏幕上再搜索樣品區域，操作會(huì )更加順利。

■ 樣品交換

最大樣品尺寸 : 直徑 200 mm.

最大樣品高度 : 90 mm

Draw-out 方式

雖然有些樣品由于形狀、大小等原因很難安裝，但是只要利用快速抽真空系統才能實(shí)現的 Draw-out 方式，從大樣品室門(mén)里可以輕松安裝樣品。只需輕輕一觸即可開(kāi)啟和關(guān)

閉樣品室門(mén)，這種方式可以支持各種形狀的樣品。

● 與抽真空結束的同時(shí)，會(huì )立即顯示目標區域的“放大倍率圖像"

抽真空結束并進(jìn)行以下步驟，

?定位目標觀(guān)察區域

?設置觀(guān)察條件

?調整圖像之后會(huì )顯示“放大倍率圖像"。

安全機制

● 輸入樣品高度

標配的樣品臺安全機構根據樣品高度和用戶(hù)輸 入的高度而工作。即使是形狀復雜的樣品也能 夠安全地進(jìn)行觀(guān)察與分析。

● 樣品室觀(guān)測裝置（CS）

用安裝在樣品室側面的相機能查看 樣品和探測器及物鏡的位置關(guān)系。 樣品室觀(guān)測裝置支持觀(guān)察形貌復雜 的樣品。

■ 多用途樣品室

可安裝多種附件

多用途樣品室共有 11 個(gè)接口，各探測器的位 置都經(jīng)過(guò)了優(yōu)化設計。EDS、EBSD、WDS 可以在同一工作距離下（10 mm）進(jìn)行分析。兩個(gè) EDS 接口和 EBSD 接口是同軸配置的， 與樣品臺的傾斜軸垂直。因此 EDS 和 EBSD 可以同步分析，雙 EDS 可以相向安裝。

■ 高速、高精度的馬達樣品臺 & 高速抽真空系統

可安裝多種附件

JSM-IT500 標配了高速、高精度的 5 軸馬達樣品臺，并且最大載重量為 2 公斤。

快速抽真空的大型樣品室

樣品室抽真空大約需要 2 分 50 秒。新設計的真空系統使抽真空速度大大提高，可以在短時(shí)間內對大容量樣品室抽真空。同時(shí)，通過(guò)渦輪分子泵和前置阱實(shí)現了清潔的真空環(huán)境。

JSM-IT500掃描電子顯微鏡技術(shù)參數規格

4 種配置 : BU ( 基本單元 ) / A ( 元素分析 ) / LV ( 低真空 ) / LA ( 低真空 & 元素分析 ).

主要選配項　　　

EDS主要規格　 適用于兩種配置 : A ( 元素分析 ) / LA ( 低真空 & 元素分析 ).